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如果是对光刻机有研究的人就知道，顶级的EUV光刻机可以用于生产5nm等高端芯片，一台价值上亿美元。

台积电位于美国的5nm工厂就会用上EUV光刻机，除此之外，也离不开中企刻蚀机。这一次，轮到美国依赖中企了。

那么什么是刻蚀机呢？中企的刻蚀机对美国建厂有多重要？

荷兰有光刻机，中国有刻蚀机

一条高端芯片生产线牵涉到全球几千亿美元的产业价值，甚至更多。就拿台积电在美国建设5nm芯片工厂来说，需要用上各种高端半导体设备。

这些设备的背后如果算上研发费用，生产制造的产业链，形成的产业规模恐怕足以媲美很多国家一年的GDP。台积电在美国投资120亿美元建厂，其中建设基础设施最多只要十几亿美元，更多的钱其实花在了购买各种高端半导体设备，比如光刻机。

荷兰ASML公司是全球光刻机霸主，垄断中高端光刻机100%的市场份额，只要产出EUV光刻机，立马就被抢购一空，不存在堆积库存的情况。

在过去二十年里，ASML投入了近千亿元人民币，参与EUV光刻机的研发，再加上从全球各国采购顶级EUV光刻机零部件，ASML在EUV光刻机身上花的钱不计其数。一台EUV光刻机的售价十分昂贵，但它的研发更加困难。

因为掌握了EUV光刻机的量产能力，所以ASML站在了全球半导体制造业的金字塔顶端。只不过美国不允许ASML随意出货EUV光刻机给大陆客户，但其实大陆也有重要性不输给光刻机的半导体设备，且工艺制程达到了5nm，它就是刻蚀机。

荷兰有光刻机，而中国有刻蚀机，二者的地位可以说是并列的。中国研发刻蚀机的厂商主要有中微半导体和北方华创，而中微半导体的刻蚀机已经能用于5nm生产线。根据媒体消息，中微5nm刻蚀机会在下半年发往台积电美国工厂。

能进入台积电5nm生产线说明中微的刻蚀机不简单，那么什么是刻蚀机呢？掌握5nm刻蚀机制造技术的中微半导体，又是什么来头？

什么是刻蚀机？

在芯片制造的过程中，光刻和刻蚀的两大步骤都需要这两种设备来完成。光刻机用类似照相机的原理，将设计好的芯片线路图投影在晶圆表面的光刻胶中。

光刻胶发挥保护基底的作用，并且能够将芯片的线路图进行显影，这时候刻蚀机需要沿着光刻好的芯片线路，将这些线路图像刻在晶圆当中。

用通俗一点的说法就是，光刻机负责形成轮廓，刻蚀机负责把轮廓的形状刻出来。就好比雕刻师，想要在物体上雕刻出自己想要的形状，肯定需要先在物体周围画上形状的样子，然后再用雕刻工具完成作业。

因此光刻机和刻蚀机是芯片制造过程中最重要，也是最关键的环节，如果没有这两个步骤，芯片将无法形成，更别说造出来了。

中微半导体的刻蚀机能达到怎样的“雕刻”水准呢？这么说吧，中微5nm刻蚀机能够在头发丝直径万分之一的面积上，“雕刻”出六十层“房子”的水平。这已经是全球顶级的水准了，也让中微半导体跻身全球一线刻蚀机供应商队伍中。

而说起中微半导体的来头，同样不简单。这家公司成立于2001年，是全球刻蚀机行业的主要推动者之一。曾被美国众多半导体巨头起诉专利侵权，却找不到任何证据而赢得胜诉，这无疑奠定了中微半导体自研实力的夯实基础。

中企刻蚀机对美国建厂有多重要？

美国邀请台积电修建5nm工厂，这座位于美国亚利桑那州的工厂已经完成了上梁仪式，将在下半年导入设备，采购光刻机，刻蚀机等产品。

这一次，轮到美国离不开中企了。中企的刻蚀机对美国建厂的重要性不言而喻，若没有中企刻蚀机供货，即便采购到了光刻机，离子注入机等一系列半导体设备，也无法顺利生产芯片。

当然，中企不同于美国，不会轻易做一些限制合作伙伴出货的事情。媒体传来消息称中微半导体打算在下半年出货5nm刻蚀机至台积电美国工厂，不过目前还没有确定具体的时间。

但可以知道的是，美国无法在全球半导体行业完全说了算，国产刻蚀机既然能供货美国市场，那自然也能供货国内供应链。随着将来国内在众多半导体设备领域取得破冰，在国产5nm刻蚀机的支持下，未必不能完成蜕变。

总结

光刻机和刻蚀机都是芯片制造业不可或缺的设备，全球市场能做到5nm水准的企业少之又少。5nm光刻机只有ASML能做，而5nm刻蚀机中微半导体也能做。至于其它的设备产品，相信在中企的努力下，也会取得更大的进步。

对此，你有什么看法呢？

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